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朗姆研究申请使用电感耦合高密度等离子体进行介电膜的致密化专利，防止在致密化介电膜期间介电膜的溅射:离子膜烧碱
金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“使用电感耦合高密度等离子体进行介电膜的致密化”的专利，公开号CN120413518A，申请日期为2017年05月离子膜烧
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金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“使用电感耦合高密度等离子体进行介电膜的致密化”的专利，公开号CN120413518A，申请日期为2017年05月离子膜烧